2020.02.13

單晶矽超聲波清洗機

單晶矽超聲波清洗機是一種用于清洗晶矽片等精密物件的清洗設備,從晶棒上切割下來的單晶矽片經過倒角、雙面研磨、抛光等工序加工後,其表面會附著各種汙染物。隨著集成電路對矽片質量要求越來越高,對矽片表面的汙染物有著極其嚴格的要求和控制。如果單晶矽片沒有清洗幹淨則會嚴重影響器件的質量和成品率,清洗也成爲單晶矽片制造過程中重要的步驟。

單晶矽超聲波清洗機
單晶矽超聲波清洗機是通过超声波振动在液体中形成微小的气泡,这些气泡由于超声波空化作用快速地破裂而产生微小的擦洗从而出去单晶硅片表面的污染物。超声波清洗技术在半导体行业中已经是一种广泛应用到的清洗方式,它具有清洗效果好、操作简单等优势。在单晶硅片的制作过程中大部分步骤为清洗工艺,在清洗硅片中应正确的使用單晶矽片超聲波清洗機,單晶矽片的潔淨度對半導體器件的性能起著至關重要的作用。